설명

EUV Extreme Ultraviolet 극자외선노광장비

 

반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(extreme ultraviolet lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정

 

네덜란드 ASML 이 사실상 EUV장비 시장을 독점하고 있음 (이른바 반도체 슈퍼을 기업)

 


 

뉴스

 

이재용 부회장, 한정판 ‘EUV 장비’ 협상 위해 네덜란드행 22년 6월 2일

http://it.chosun.com/site/data/html_dir/2022/06/02/2022060202276.html

 

“삼성도 줄 서” 반도체 수퍼사이클 열쇠 쥔 ‘수퍼을’ 21년 1월 25일

https://news.joins.com/article/23977434

 


 

대장주

에스앤에스텍, 에프에스티, 동진쎄미켐, 디앤에프

 


 

에스앤에스텍★

에스앤에스텍, '투과율 90%' EUV 펠리클 개발 성공 21년 10월 6일

http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=14524

블랭크마스크 생산업체 에스앤에스텍이 투과율 90%의 반도체 극자외선(EUV) 공정용 펠리클 개발에 성공했다. 국내 최초다. 현재 투과율 90%의 EUV 펠리클은 네덜란드 ASML 한 곳만 개발에 성공

반도체 및 TFT LCD 생산에 쓰이는, 노광 공정의 핵심 재료인 포토마스크의 원재료로서 패턴이 노광되기 전 마스크인 블랭크 마스크 제조

 

 

에프에스티

에프에스티, 업계 최초 EUV 펠리클 자동 마운트 장비 개발 21년 7월 8일

http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=13216

반도체 설비 및 소재 전문업체 에프에스티(FST)가 극자외선(EUV)용 펠리클(Pellicle)을 마스크에 자동 탈부착하는 장비 등을 세계 최초로 개발하고 국내 대형 고객사 평가까지 마쳤다.

 

 

동진쎄미켐

동진쎄미켐, 극자외선(EUV) 포토레지스트 국산화 성공 21년 12월 21일

http://www.newscj.com/news/articleView.html?idxno=933647

 

 

디엔에프

에프에스티, 2023년 EUV 펠리클 상용화 목표 22년 2월 11일

https://news.nate.com/view/20220211n08650

 

 

파크시스템스

파크시스템스, EUV 마스크 검사장비 국내 첫 개발 21년 12월 27일

http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=15554

원자현미경(AFM) 기반 나노계측전문업체 파크시스템스가 EUV용 마스크 검사장비를 개발

 

 

케이씨텍

韓 EUV 전환, 日 수출규제 '암초'…TSMC, 빈틈 노린다 19년 8월 1일

http://m.ddaily.co.kr/m/m_article/?no=184168

웨이퍼를 평평하게 다듬는 화학기계연마(CMP) 장비는 88%, 감광액의 부착력을 높이는 베이커 장비는 99% 일본에 의존한다. 국내 케이씨텍 등이 생산하고 있지만 기술력 차이가 있다.

 

 

켐트로스

[특징주] 켐트로스, 삼성 포토레지스트 개발 협력사 부각에 20%대↑ 20년 8월 3일

https://moneys.mt.co.kr/news/mwView.php?no=2020080311298027827

 

 

엘오티베큠

엘오티베큠, 반도체 EUV 공정에 필요한 진공펌프 국산화 도전 20년 11월 9일

https://www.asiae.co.kr/article/2020110913482054307

 

 


 

참고자료

https://www.uptrend.market/6332554a-ca7a-43ce-a287-b52d3933661f#6332554a-ca7a-43ce-a287-b52d3933661f

 

 

 

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